ERON-NABEYA雅朗 E-9272/隔振臺VPG
品牌：ERON(雅朗)
型號：G5C2D804B6218D
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ERON(雅朗)區(qū)域經(jīng)理 李經(jīng)理：18929218517咨詢●特殊水平機(jī)構(gòu)可發(fā)揮優(yōu)異的隔振性能
●全系列采用統(tǒng)一高度
●自動調(diào)平功能可對應(yīng)偏載狀態(tài)
●可用于無塵室（集中排氣：選項）
●附帶防止過度上浮機(jī)構(gòu)
■用途
●半導(dǎo)體制造裝置、檢查裝置（步進(jìn)式曝光機(jī)、FIB裝置）
●化學(xué)分析設(shè)備（薄膜硬度計、核磁共振儀）
●各種精密檢查及測量儀、平臺
■性能
水平1.5Hz 垂直2.5Hz
一般：約4sec→高性能：約1.5sec
■規(guī)格
使用壓力范圍 ： 0.1～0.4（MPa） ／ 固有振動數(shù) ： 水平1.5Hz 垂直 2.5Hz 以下
| 訂單號 | 型號 | A | B | C | D | 產(chǎn)品重量1個（4個） | 容許負(fù)荷（4個防振座） | |
| kg | kg | N | ||||||
| 116411 | AMG070 | 125 | 90 | 185 | φ10 | 3.5 (14.0) | ～ 420 | ～ 4116 |
| 116412 | AMG100 | 150 | 120 | φ10 | 5.2 (20.8) | ～ 730 | ～ 7154 | |
| 116413 | AMG200 | 200 | 160 | φ10 | 8.3 (33.2) | ～1300 | ～12740 | |
| 116414 | AMG500 | 250 | 200 | φ14 | 16.6 (66.4) | ～3000 | ～29400 | |
| 116415 | AMG800 | 320 | 250 | φ18 | 28.1(112.4) | ～4700 | ～46060 | |
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品牌：ERON(雅朗)
型號：G5C2D804B6218D
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型號：G5C2C6CF2E305C
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